ProX 飛納電子顯微鏡是一種利用電子束來觀察和分析微觀世界的高精度儀器，它突破了光學(xué)顯微鏡的分辨率極限，核心原理基于電子光學(xué)，與光學(xué)顯微鏡使用可見光不同，以電子束作為光源。電子具有波粒二象性，其波長比可見光短得多，這使得它能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率。
電子透鏡是ProX 飛納電子顯微鏡的主要功能之一，它用于對電子束進行聚焦和成像。電子透鏡利用磁場或電場對電子產(chǎn)生作用，使電子束發(fā)生折射，從而實現(xiàn)類似光學(xué)透鏡對光線的聚焦效果。通過多級電子透鏡的組合，可以對電子束進行精細的控制，將樣品的細節(jié)清晰地呈現(xiàn)出來。
檢定是通過標(biāo)準(zhǔn)樣品或計量工具對ProX 飛納電子顯微鏡的性能參數(shù)進行檢測和驗證，判斷其是否符合技術(shù)要求。常見檢定項目包括：
1.放大倍數(shù)誤差與重復(fù)性
-標(biāo)準(zhǔn)樣品：使用已知尺寸的標(biāo)準(zhǔn)樣品(如金球、光柵刻線等)，通過測量圖像中的標(biāo)尺與實際尺寸的比值，計算放大倍數(shù)誤差。
-重復(fù)性檢測：多次測量同一標(biāo)準(zhǔn)樣品，驗證放大倍數(shù)的穩(wěn)定性。
2.圖像線性失真度
-XY方向線性檢測：拍攝帶有規(guī)則幾何圖形(如網(wǎng)格)的標(biāo)準(zhǔn)樣品，分析圖像是否出現(xiàn)拉伸、扭曲等變形。
3.分辨率驗證
-透射電鏡(TEM)：使用晶格條紋或已知晶面間距的樣品(如石墨)，觀察是否能清晰分辨原子尺度結(jié)構(gòu)。
-掃描電鏡(SEM)：通過高對比度樣品(如金顆粒)檢測二次電子像的分辨率。
4.電子束對準(zhǔn)與穩(wěn)定性
-檢查電子束是否垂直入射樣品表面，避免因傾斜導(dǎo)致圖像畸變。
