根據成像方式的不同,ProX 飛納電子顯微鏡主要分為透射式(TEM)和掃描式(SEM)。透射式是將電子束穿透樣品,通過測量透過樣品的電子強度和相位變化來形成圖像。它要求樣品非常薄,通常需要制備成納米級的薄片,以便電子能夠順利穿透。這種顯微鏡能夠提供樣品內部結構的高分辨率圖像,對于研究材料的晶體結構、原子排列等方面具有重要意義。例如,在材料科學中,透射式可以觀察到金屬材料中的晶格缺陷、位錯等微觀結構,以及納米材料的原子級結構特征。
掃描式則是利用聚焦的電子束在樣品表面逐點掃描,通過收集從樣品表面激發出的二次電子、背散射電子等信號來生成圖像。它可以提供樣品表面的三維形貌信息,具有較大的景深和較高的表面分辨率。在生物學、地質學等領域廣泛應用,比如觀察細胞表面的形態、巖石的微觀結構等。掃描式能夠直觀地展示樣品表面的粗糙度、紋理等特征,對于研究材料的表面性質和微觀結構有著重要作用。此外,還有一種掃描透射式(STEM),它結合了透射和掃描的特點,通過探測透射電子在樣品中的角分布來獲得高分辨率的圖像,并且可以實現原子尺度的元素分析。
ProX 飛納電子顯微鏡在眾多領域發揮著不可替代的作用。在生命科學領域,它能夠幫助科學家觀察病毒、細胞器等微小結構,揭示生命的奧秘;在材料科學中,用于研究新材料的微觀結構和性能關系,推動材料的創新和發展;在物理學領域,有助于探索物質的微觀物理現象和規律,如量子效應等。
ProX 飛納電子顯微鏡的校準方法:
-透射電鏡:常用周期結構標準物質(如石墨、氧化物晶體)校準圖像放大倍率。
-掃描電鏡:采用微米級光刻標尺或納米金球校準長度量測。
-放大倍率校準:通過標準樣品的已知尺寸與圖像測量值的比例,修正顯微鏡的放大倍率參數。
-像散校正:調整聚光鏡或物鏡電流,消除圖像模糊或畸變。
-電子束電流校準:使用法拉第杯或電流校準器,確保束流穩定。
-通過調整聚光鏡、物鏡和投影鏡的同軸性,保證電子束準確聚焦。
-根據使用頻率,定期(如每月或每季度)重復校準流程,維持儀器精度。